Die Lithografieanlagen für SiC, GaN und Mini-LED sind seit langem durch Importe monopolisiert: Wending Juxin verwendet 0,35μm-Stepper-Lithografiemaschinen, um die inländische Lücke im Bereich der Verbindungshalbleiter zu schließen.

Shenzhen Wending Juxin Technology Co., Ltd. (im Folgenden als „Wending Juxin“ bezeichnet), das sich auf die Forschung und Entwicklung von Stepper-Ausrüstungen für die vorderen Fertigungsstufen konzentriert, hat eine neue Finanzierungsrunde eingeleitet. Das Unternehmen wurde im Mai 2023 gegründet und ist ein staatliches Hochtechnologieunternehmen. Seine selbst entwickelte hochpräzise Stepper-Lithografieanlage der WS180i-Serie wurde 2025 erfolgreich ausgeliefert und zielt darauf ab, die Lücke von inländischen Geräten in spezifischen fortschrittlichen Fertigungsbereichen wie Verbindungshalbleitern zu schließen.

Vor dem Hintergrund der beschleunigten Umstrukturierung der globalen Halbleiterindustriekette und der dringenden Nachfrage nach inländischer Substitution zielt Wending Juxin nicht auf die modernste Herstellung von Logikchips ab, sondern auf das lang bestehende „Engpassproblem“ in Bereichen von Verbindungshalbleitern wie Leistungsbauelementen, Mini/Micro-LEDs und optischen Chips: Hochpräzise, hochflexible, mehrmaterialkompatible Lithografieanlagen sind seit langem von Importen abhängig. Die Kerntechnologie von Wending Juxin bietet Herstellern in diesen Bereichen eine selbst kontrollierbare, prozesstauglichere inländische Lösung.

Kernproblem: Fehlen von inländischen Geräten bei der Herstellung von Verbindungshalbleitern

Verbindungshalbleiter wie Siliziumkarbid (SiC), Galliumnitrid (GaN) und Mini/Micro-LEDs für hochwertige Displays sind Schlüsselmaterialien, die strategische Industrien wie Elektrofahrzeuge mit neuer Energie, 5G-Kommunikation und neuartige Displays stützen. Die Herstellungsverfahren dieser Materialien unterscheiden sich jedoch erheblich von herkömmlichen siliziumbasierten Chips und stellen einzigartige Anforderungen an die Präzision, Substratkompatibilität und Prozessflexibilität von Lithografieanlagen.

Seit langem wird der Markt für hochwertige Lithografieanlagen in diesem Bereich von wenigen internationalen Giganten dominiert. Inländische Hersteller stehen nicht nur vor Herausforderungen wie hohen Beschaffungskosten und unsicheren Lieferfristen, sondern sind auch bei der Prozessanpassung und dem After-Sales-Support von Dritten abhängig. Insbesondere für zahlreiche inländische innovative Unternehmen in der Phase der Forschung und Entwicklung und der Kleinserienproduktion sind importierte Geräte „unpraktisch, ungeeignet und unerschwinglich“ und werden zu einem zentralen Engpass, der die Produktiteration und die Hochskalierung der Massenproduktion behindert. Das Team von Wending Juxin hat bei mehreren Marktforschungen festgestellt, dass viele inländische Hersteller von Leistungsbauelementen bei dem Versuch, Designs in Produkte umzuwandeln, oft ins Stocken geraten, weil sie keine Lithografieunterstützung erhalten, die ihren speziellen Dickenfotolackprozessen und heterogenen Substraten entspricht.

Daher besteht auf dem Markt ein dringender Bedarf an einer kostengünstigen inländischen Lithografieanlage, die die lokalen Prozessanforderungen tiefgehend versteht, schnelle Reaktionen und maßgeschneiderte Dienstleistungen anbietet und gleichzeitig die Anwendungsanforderungen bei wichtigen Leistungsindikatoren erfüllt. Dies ist genau die Marktlücke, in die Wending Juxin eintritt.

Technologischer Durchbruch: Schlüsselfähigkeiten der selbst entwickelten Stepper-Lithografieanlage

Die Lösung von Wending Juxin konzentriert sich auf die Schrittprojektions-Lithografietechnologie. Im Unterschied zu Scan-Lithografieanlagen, die für die Massenproduktion von Logikchips verwendet werden, eignen sich Stepper-Lithografieanlagen (Stepper) durch das „Schritt-Belichtungs“-Verfahren besser für Fertigungsszenarien mit vielen Varianten, Kleinserien und hoher Präzision, was genau den Produktionsmerkmalen von Bereichen wie Verbindungshalbleitern, fortschrittlicher Gehäusetechnik und MEMS-Sensoren entspricht.

Das erste Serienmodell des Unternehmens, die WS180i-Serie, zeigt die Durchbrüche, die es in Schlüsseltechnologien erzielt hat. Gemäß den veröffentlichten Produktinformationen und Branchennachrichten deckt die Auflösung dieses Geräts 1,5 μm bis 0,35 μm ab, ist kompatibel mit Wafern von 2 Zoll bis 8 Zoll und unterstützt verschiedene Substratmaterialien wie Silizium, Saphir und Siliziumkarbid. Die Auflösung von 0,35 μm ermöglicht es, die Herstellungsanforderungen der überwiegenden Mehrheit der Mini/Micro-LED-Chips, mittel- bis hochwertigen Leistungsbauelemente und einiger optischer Kommunikationschips zu erfüllen.

Hinter den technischen Fähigkeiten steht die reiche Erfahrung des Teams. Die meisten Kernforschungs- und Entwicklungsmitarbeiter von Wending Juxin haben einen Master- oder Doktorgrad an bekannten in- und ausländischen Universitäten und kommen von führenden inländischen Halbleiterforschungsinstituten und weltweit führenden Geräteunternehmen mit einer durchschnittlichen Branchenerfahrung von mehr als zwanzig Jahren. Der Gründer war einst ein Kernmitglied des nationalen „02-Schlüsselprojekts“ (Herstellungstechnologie und komplette Verfahren für extrem großskalige integrierte Schaltkreise), was dem Unternehmen eine übergreifende Perspektive und praktische Erfahrung von den nationalen strategischen Anforderungen bis zur spezifischen technischen Umsetzung für die technische Problemlösung bietet. Das Team hat die vorwärtige Forschung und Entwicklung an Kernsubsystemen von Lithografieanlagen wie optischem Systemdesign, präziser mechanischer Steuerung und Ausrichtalgorithmen realisiert, um die Stabilität und Prozesskonsistenz des Geräts zu gewährleisten.

Wie bekannt ist, hat das WS180i-Modell die Prozesszertifizierung eines bekannten inländischen Herstellers integrierter Schaltkreise bestanden und erste Kundenbestellungen erhalten. Dies markiert einen entscheidenden Schritt des Geräts von dem „Labormodell“ zu dem „einsetzbaren Gerät in der Kundenproduktionslinie“. Der kommerzielle Pfad von Wending Juxin ist klar geplant: In naher Zukunft wird der Markt für ausgereifte Verfahren mit 0,35 μm und darüber hinaus gefestigt, mittelfristig wird die KrF-Lithografietechnologie mit 0,13 μm und die höherstufige ArFi-Immersionslithografietechnologie erweitert, um den Prozessabdeckungsbereich schrittweise auszubauen.

Geschäftsmodell und Marktraum im Wert von mehreren zehn Milliarden Yuan

Das Geschäftsmodell von Wending Juxin ist klar: Als Hersteller hochwertiger Halbleiterausrüstung verkauft es komplette Lithografieanlagen sowie dazugehörige Prozesslösungen und After-Sales-Dienstleistungen an Waferfabriken für Verbindungshalbleiter, fortschrittliche Gehäusefabriken, Forschungseinrichtungen und Universitätslabore. Seine Zielnutzer sind eindeutig inländische Unternehmen, die sich mit der Forschung, Entwicklung und Herstellung von Halbleitern der dritten Generation, hochwertigen Displays und optoelektronischen Bauelementen befassen.

Gemäß Berichten mehrerer Branchenforschungsinstitute wächst der Markt für Halbleiterausrüstung unter dem Antrieb der Welle der Autarkie der chinesischen Halbleiterindustrie und der starken Politik kontinuierlich. Davon profitiert der Markt für Leistungshalbleiter von dem Ausbruch von Industrien wie Elektrofahrzeugen mit neuer Energie und Photovoltaikspeicher, sein Umfang expandiert rasch, was die Nachfrage nach Herstellungs- und Verarbeitungsgeräten für SiC- und GaN-Materialien im vorgelagerten Bereich ankurbelt. Gleichzeitig wird erwartet, dass der globale Markt für Mini/Micro-LEDs als Kern der nächsten Generation von Displaytechnologie in den nächsten fünf Jahren einen Umfang von über 10 Milliarden US-Dollar übersteigt, was eine enorme Nachfrage nach hochpräzisen, hocheffizienten Massentransfer- und Chipherstellungsgeräten auslöst.

Obwohl der Gesamtmarkt für Lithografieanlagen stark konzentriert ist, gibt es im schnell wachsenden Teilbereich der Verbindungshalbleiter einen großen Substitutionsraum für inländische Geräte. Dank seines tiefgehenden Verständnisses der Prozesse im Teilbereich, schnellerer Kundenreaktionen und wettbewerbsfähigerer Kosten wird Wending Juxin voraussichtlich einen Platz auf dem inländischen Markt einnehmen. Das Unternehmen berechnet, dass seine Produkte den nachgelagerten Kunden helfen können, die Gesamtkosten für Ausrüstung um 20 % bis 30 % zu senken, was für kostenempfindliche Fertigungsunternehmen eine erhebliche Attraktivität darstellt.

Hintergrund des Teams und aktueller Fortschritt

Laut Informationen von Qichacha ist der gesetzliche Vertreter von Shenzhen Wending Juxin Technology Co., Ltd. Chen Haixia, das eingetragene Kapital beträgt etwa 1,25 Millionen Yuan, die Anzahl der versicherten Mitarbeiter beträgt 55, und das Unternehmen wurde bereits als Hochtechnologieunternehmen und kleines und mittleres Technologieunternehmen anerkannt. Die Eigentumsstruktur zeigt, dass das Unternehmen Investitionen von professionellen Institutionen wie Yigao Capital und Kaiding Investment erhalten hat und 2026 die Finanzierungsrunden B und B+ abgeschlossen hat, was zeigt, dass sein technischer Weg und sein Entwicklungspotenzial eine gewisse Anerkennung durch den Kapitalmarkt erhalten haben.

Derzeit befindet sich Wending Juxin in einer kritischen Phase der marktorientierten Produktverbreitung und Teamerweiterung. Neben der Auslieferung und Kundenvalidierung der Lithografieanlage der WS180i-Serie treibt das Unternehmen gleichzeitig die Forschung und Entwicklung von höherwertigen Produktmodellen voran. Das Unternehmen verfügt in Shenzhen über eine Forschungs- und Entwicklungs- sowie Produktionsbasis von mehr als 2000 Quadratmetern, die hochgradige Reinräume enthält und über die gesamte Kette von Forschung und Entwicklung, Montage bis zur Inbetriebnahme verfügt.

Im Hinblick auf den Teamaufbau hat Wending Juxin bereits die Campus-Rekrutierung für das Jahr 2027 gestartet, um Master- und Doktoranden der Fachrichtungen Mikroelektronik, Optik, Maschinenbau, Materialwissenschaften und anderen Fachrichtungen an in- und ausländischen Universitäten zu rekrutieren. Die Stellen decken mehrere Bereiche wie Forschung und Entwicklung, Prozess und Vertrieb ab, um eine vollständige Talentpyramide aufzubauen, die Technik, Markt und Anwendung abdeckt. Dies sichert das zentrale Humankapital für die anschließende technische Iteration und kommerzielle Expansion.

Insgesamt hat Wending Juxin einen differenzierten, pragmatischen Weg der technischen Problemlösung gewählt. Es fordert nicht direkt die modernste internationale EUV-Lithografietechnologie heraus, sondern zielt auf die bestehende und dringend zu lösende Lücke von „mittel- bis hochwertigen“ Ausrüstungen in der inländischen Lieferkette ab. Heute, wo die Autarkie der Halbleiterindustrie zu einem nationalen strategischen Konsens geworden ist, sind der Fortschritt der neuen Finanzierungsrunde und die zukünftige Entwicklung von Hard-Technologie-Unternehmen wie Wending Juxin, die über eine solide technische Grundlage, klare Marktpositionierung und eindeutigen kommerziellen Pfad verfügen, eine fortlaufende Beobachtung wert.