Hardkr Exklusive Erstveröffentlichung | Zhongke Zhuoer schließt die Serie-B+-Finanzierung in Höhe von mehreren hundert Millionen Yuan ab und wird in die Lieferkette mehrerer führender Photomaskenhersteller aufgenommen.

Autorin｜Yang Yuan

Redakteur｜Peng Xiaoqiu

Laut Hard Krypton hat kürzlich Chengdu Zhongke Zhuoer Intelligent Technology Group Co., Ltd. (im Folgenden als „Zhongke Zhuoer“ bezeichnet) eine Finanzierungsrunde in Höhe von mehreren hundert Millionen Yuan der Serie B+ abgeschlossen. Die Investoren dieser Runde umfassen BOC International Investment, Jinan Industrial Development Integrated Circuit, CIC Huake, Jiangyin Xin Guolian und Chuanliu Investment usw.

Die Mittel aus dieser Finanzierungsrunde werden hauptsächlich für die Modernisierung der Kernverfahrenstechnik und den Aufbau von Serienproduktionslinien für hochwertige Quarz-Rohmasken verwendet. Dabei geht es darum, die Prozessstabilität und Produktkonsistenz bei Schlüsselverfahren wie ultrapräzises Polieren, defektarmes Reinigen und Vakuumbeschichtung zu verbessern und die skalierte Produktion sowie die zuverlässige Lieferung durch selbst entwickelte und gemeinsam entwickelte Spezialanlagen zu unterstützen.

Zhongke Zhuoer wurde 2018 gegründet und ist ein Halbleitermaterialunternehmen, dessen Kerngeschäft die Forschung und Entwicklung, Herstellung und der Vertrieb von hochwertigen Quarz-Rohmasken ist. Es liefert Rohmasken und hochpräzise Quarzpoliersubstrate für die Halbleiter- und Display-Panel-Industrie und betreibt gleichzeitig die Forschung und Entwicklung von präzisen optischen Komponenten und zugehörigen Prozessanlagen.

Rohmasken sind das Grundmaterial für die Herstellung von Fotomasken. Im Chipherstellungsprozess tragen Fotomasken die Schaltungsmuster und übertragen die Muster durch den Lithographieprozess auf den Wafer. Bei der Herstellung von Display-Panels übernimmt die Fotomaske ebenfalls die Schlüsselfunktion der Musterübertragung. Die Oberflächenebenheit, Materialreinheit und das Defektkontrollniveau von Rohmasken wirken sich weiter auf die nachfolgende Musterverarbeitungsgenauigkeit und die Produktausbeute aus.

Hochwertige Quarz-Rohmasken weisen hohe technische und ingenieurtechnische Hürden auf. Die Schwierigkeit liegt nicht in einem einzelnen Indikator, sondern darin, dass mehrere Verfahren wie Quarzmaterialqualität, ultrapräzises Polieren, Defektkontrolle, Beschichtung und Schleudern von Fotolack gleichzeitig die Anforderungen erfüllen und in der Massenproduktion stabil und konsistent bleiben. Hochwertige Produkte werden seit langem von ausländischen Herstellern dominiert, und die inländische Fotomasken-Industriekette hat einen immer dringenderen Bedarf an unabhängiger Versorgung, stabiler Lieferung und skalierter Herstellungskapazität.

Zusammenwirken von Verfahren und Anlagen zum Aufbau von durchgängigen Herstellungskapazitäten

Nach Angaben des Unternehmens hat Zhongke Zhuoer ein Herstellungsverfahrenssystem aufgebaut, das die Glieder Materialprüfung, ultrapräzises Polieren, defektarmes Reinigen, Vakuumbeschichtung und Schleudern von Fotolack abdeckt, und den gesamten Prozess von dem vorderen Schleifen und Polieren von hochpräzisen Quarzsubstraten bis zum nachfolgenden Reinigen, Beschichten und Schleudern von Fotolack durchgängig gemacht. Beim vorderen Polieren müssen gleichzeitig die Oberflächenformgenauigkeit, die Suboberflächenschädigung, die Defekte durch winzige Partikel und die Materialspannung gesteuert werden, was nicht nur durch den Kauf von Anlagen erreicht werden kann.

Aufbauend auf der Akkumulation von präzisen optischen Bearbeitungsverfahren hat das Unternehmen einen geschlossenen Kreislauf aus „Prozessentwicklung – präziser Prüfung – Iteration von Anlagen – Chargenvalidierung“ gebildet. Schlüsselanlagen wie ultrapräzises Polieren und Vakuumbeschichtung werden vom Unternehmen selbst entworfen oder gemeinsam mit inländischen Anlagenherstellern entwickelt. Die selbst entwickelte Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage wurde bereits als erstes Exemplar eines neuen Produkts anerkannt. Die gemeinsame Entwicklung von Verfahren und Anlagen trägt dazu bei, Schlüsselindikatoren wie Oberflächenform, Defekte und Beschichtungen kontinuierlich zu optimieren, die Chargenkonsistenz zu verbessern und die Fähigkeit zur unabhängigen Sicherung der Lieferkette in wichtigen Produktionsgliedern zu stärken.

Vom Kundenvalidierungsschritt zur Lieferung kleiner und mehrerer Chargen

Im kommerziellen Bereich wurden die Rohmaskenprodukte von Zhongke Zhuoer nach Angaben des Unternehmens nacheinander von nachgeschalteten Kunden validiert, sind in die Lieferketten mehrerer führender inländischer Maskenhersteller eingetreten und schreiten von der Probemusterprüfung schrittweise zur Phase der Lieferung kleiner und mehrerer Chargen voran. Für Rohmaskenhersteller ist der Eintritt in die Kundenlieferkette nur der Ausgangspunkt der Serienproduktionsvalidierung. Um von der Probemusterprüfung zur kontinuierlichen Lieferung zu gelangen, müssen die Produktionsausbeute, die Prozessstabilität und die Chargenkonsistenz ständig verbessert werden.

Auf der Ebene der langfristigen industriellen Zusammenarbeit kann die Anwendung von selbst und gemeinsam entwickelten Anlagen in echten Produktionslinien Validierungsszenarien und Iterationsrückmeldungen für inländische Anlagen bereitstellen und die gemeinsame Modernisierung von Materialien, Anlagen, Prüfverfahren und Prozessdienstleistungen vorantreiben. Dies wird durch die Pilotplattform, gemeinsame Labore und Serienproduktionslinien gestützt.

Das Unternehmen betreibt derzeit ein technisches Zentrum für Maskensubstrate, eine Pilotplattform im Hochtechnologiebezirk und eine vom Ministerium für Industrie und Informationstechnologie der Volksrepublik China reservierte Pilotplattform und hat gemeinsam mit der Universität für Elektronikwissenschaft und Technologie Chinas ein gemeinsames Labor für intelligente Optoelektronik aufgebaut, um die Prozessiteration und die ingenieurtechnische Validierung zu unterstützen. Das Unternehmen wurde 2025 als nationales spezialisiertes, verfeinertes und neuartiges „kleines Riesen“-Unternehmen ausgezeichnet.

Nach dieser Finanzierungsrunde wird Zhongke Zhuoer sich weiterhin auf die Forschung und Entwicklung von hochwertigen Quarz-Rohmasken und den Aufbau von Serienproduktionslinien konzentrieren, die Herstellungsverfahren im Hinblick auf Produktausbeute, Prozessstabilität und Chargenkonsistenz optimieren und die skalierte Massenproduktion und die stabile Lieferung durch Prozessiteration und gemeinsame Innovation von Schlüsselanlagen unterstützen. Gleichzeitig wird die Ausbildung von ingenieurtechnischen Fachkräften und die Umwandlung von technischen Ergebnissen vorangetrieben, um die Ansammlung der regionalen Halbleitermaterialindustrie und den Aufbau einer unabhängigen Lieferkette zu unterstützen.

Standpunkte der Investoren:

BOC International Investment: Die kontinuierliche finanzielle Unterstützung für Zhongke Zhuoer ergibt sich aus unserer Einschätzung des langfristigen Werts der Lokalisierung von hochwertigen Kernmaterialien für Halbleiter. Rohmasken weisen hohe technische Hürden, lange Entwicklungszyklen und strenge Kundenvalidierungen auf, und ihre Kernwettbewerbsfähigkeit erfordert langfristige technische Akkumulation und kontinuierliche ingenieurtechnische Iteration. Wir haben die Fortschritte von Zhongke Zhuoer von der Durchbrüche bei Schlüsseltechnologien, der Validierung von Kernprodukten bis zur skalierten industriellen Anordnung miterlebt. In Zukunft werden wir weiterhin die Vorteile der professionellen Investition und der Integration von industriellen Ressourcen ausspielen, um die Umwandlung von originären technischen Ergebnissen und deren industrielle Umsetzung zu unterstützen.

Jinan Industrial Development Integrated Circuit: Kernmaterialien für Halbleiter sind ein wichtiges Glied, das die industrielle Sicherheit betrifft. Wir schätzen die Fähigkeit von Zhongke Zhuoer, die gesamte Kette aus „Material + Verfahren + Anlagen“ zu beherrschen, und das Potenzial für die Serienproduktion. Wir sind bereit, das Unternehmen mit Kapital und industriellen Ressourcen bei der Förderung der skalierten Herstellung zu unterstützen und durch die Umsetzung des Projekts die Halbleitermaterial-Industriekette in Jinan zu stärken, um die koordinierte Ansammlung von lokalen vor- und nachgeschalteten Unternehmen voranzutreiben.

CIC Huake: Die Beteiligung an der Finanzierungsrunde von Zhongke Zhuoer ist eine konkrete Maßnahme zur Umsetzung der Strategie der „unabhängigen und selbstständigen technologischen Entwicklung“ und der Planungsvorgaben des 15. Fünfjahresplans. CIC Huake wird mit der Kraft des Kapitals Unternehmen für hochpräzise Maskensubstrate dabei unterstützen, Schlüsseltechnologien zu durchbrechen und die industrielle Umsetzung zu beschleunigen, um nachhaltige Impulse für die Stärkung der Halbleitermaterial-Industriekette zu geben.

Jiangyin Xin Guolian: Maskensubstrate sind ein Schlüsselglied, das Material und Herstellung verbindet. Zhongke Zhuoer hat durch selbst entwickelte Forschung und Entwicklung Verfahren und Anlagen durchgängig gemacht und bietet Unterstützung für die Stärkung und Vervollständigung der Halbleiter- und Display-Industriekette. Wir freuen uns darauf, gemeinsam mit dem Unternehmen die Koordination der industriellen Ressourcen zwischen Ost- und Westchina voranzutreiben und den Prozess der inländischen Massenproduktion zu beschleunigen.

Chuanliu Investment: Zhongke Zhuoer hat den Schritt von der technischen Validierung zur Anlaufphase der Serienproduktion vollzogen. Selbst entwickelte Anlagen unterstützen die Produktionserweiterung, die Validierung bei nachgeschalteten Kunden schreitet kontinuierlich voran. Die zugehörigen Technologien unterstützen die Koordination der Industriekette für ultrapräzises Polieren, Reinigen und Beschichten von Halbleitermaterialien der nächsten Generation und weisen Replizierbarkeit und zentrale Stützwirkung auf. Wir sind zuversichtlich, dass das Unternehmen den Sprung vom technischen Pionier zum skalierten Lieferanten schaffen wird.