Ein Startup von einem Team von Doktoren aus der chinesischen Akademie der Wissenschaften: Ein Unternehmen für kritische Halbleitermaterialien hat mehrere hundert Millionen Yuan in der Serie-B-Finanzierung erhalten. Seine Produkte sind bereits von Kunden wie Luowei Optoelectronics und Longtu Photomask validiert. | Exclusive von Yingke

Autor  |  Lin Qingqing

Redakteur  |  Peng Xiaoqiu

Hard Krueger hat erfahren, dass das Halbleitermaterialunternehmen "Zhongke Zhuoer" kürzlich die Kapitalabwicklung der B-Serie mit dem Lead-Investor abgeschlossen hat. Der Lead-Investor ist der Chengdu Jiaozizi Zhongying Innovation Development Fund unter der Beteiligung von BOC International Investment. Gleichzeitig sind mehrere Mitinvestoren auch in rascher Entwicklung, und die Gesamtfinanzierungsgröße der B-Serie beläuft sich auf mehrere hundert Millionen Yuan. Das Kapital wird für die Prozessentwicklung von Quarzmasken-Substraten für die Halbleiterlithografie, den Bau von nationalen Produktionslinien und die Überwindung von Massenproduktionsengpässen verwendet.

"Zhongke Zhuoer" wurde 2018 gegründet und von Professor Yang Wei aufgebaut. Das Unternehmen hat die Schlüsseltechnologien für die präzise Polierung und Beschichtung von Halbleitermasken-Substraten überwunden und verfügt über die Fähigkeit zur Forschung, Entwicklung und Produktion von Prozessen bis hin zu Kernausrüstungen. Es hat auch das nationale Projekt zur Überwindung von Engpässen in der Halbleiter-Blankmasken-Industrie-Kette übernommen. Seine Hauptprodukte umfassen Blankmasken für Halbleiter/Anzeigen im 130 - 250nm-Prozess (Produkte im 28 - 90nm-Bereich werden derzeit aktiv entwickelt und vorbereitet) sowie die dazugehörigen Kernausrüstungen.

Blankmasken dienen als Grafikübertragungsträger in der Lithografieprozess und sind das Kernmaterial für die Lithografie von Chips und Bildschirmen, die direkt die Lithografiegenauigkeit und die Produktausbeute beeinflussen. Laut Daten mehrerer Forschungsberichte belief sich der weltweite Markt für Blankmasken im Jahr 2024 auf etwa 3,6 Milliarden US-Dollar, und der chinesische Bedarf belief sich auf etwa 10 Milliarden Yuan. Das chinesische Festland ist bei den mittelschweren und hochwertigen Blankmasken stark auf Importe angewiesen und wird derzeit fast von wenigen Unternehmen wie der japanischen HOYA, der japanischen Shin-Etsu Chemical und der südkoreanischen KTG monopolisiert. Die nationale Produktionsrate wird auf weniger als 1% geschätzt, und die chinesische Branche muss dringend eine Lösung finden. Gleichzeitig sind die Kernausrüstungen für die Produktion von Blankmasken wie Elektronenstrahlbelichtung und Defekterkennung seit langem unter der Ausfuhrkontrolle der USA und Japan, was die Kapazitätserweiterung in China einschränkt.

Derzeit gibt es nur 4 - 5 Unternehmen auf dem chinesischen Festland, die in kleinen Mengen stabile Lieferungen von Quarz-Blankmasken an Dritte leisten können, und die Schlüsselprozessausrüstungen sind immer noch auf Importe angewiesen. Yang Wei, der Gründer von "Zhongke Zhuoer", sagte Hard Krueger: "Es besteht die Gefahr, dass die Produktionslinien, die auf importierte Ausrüstungen angewiesen sind, stillgelegt werden", und er wies darauf hin: "Unter der bestehenden Lithografietechnologie hat die Maske als Schlüsselmaterial noch einen ungefähr 10-jährigen irreplacebaren Zyklus."

Hard Krueger hat erfahren, dass "Zhongke Zhuoer" auf technischer Ebene drei eigenständige Durchbrüche erzielt hat. Dabei erreicht der Ultrapräzisionspolierprozess eine Oberflächenrauheit von weniger als 0,2 Nanometer (der internationale Durchschnitt liegt bei 0,3 Nanometer); die Magnetron-Sputter-Beschichtungsausrüstung erreicht eine Schichtgleichmäßigkeit von ±2% (der internationale Standard liegt bei ±5%); das Defekterkennungssystem kann Fehlstellen im 0,3-Mikrometer-Bereich erkennen und mit den Produktionsdaten verknüpfen. Yang Wei sagte, dass die chinesischen Blankmasken derzeit im 130 - 500nm-Prozess technisch auf dem gleichen Niveau wie die internationalen Produkte sind, aber bei den fortschrittlicheren Knotenpunkten unter 100nm noch weitere Durchbrüche erforderlich sind.

Im Hinblick auf die Kommerzialisierung wurden die Blankmasken von "Zhongke Zhuoer" von Luwei Optoelectronics, Longtu Photomask und mehreren anderen chinesischen Unternehmen validiert. Derzeit wurde die Pilotproduktionslinie in Chengdu von "Zhongke Zhuoer" in Bezug auf Prozess und Produkte validiert, und die Finanzierung dieser Runde wird vor allem die Stärkung der Massenproduktionsfähigkeit vorantreiben.

Das Team von "Zhongke Zhuoer" wird von Professor Yang Wei geleitet, und der Akademiker Jiang Wenhan, der Lehrer von Yang Wei, ist der Chefwissenschaftlerberater und hat immer an der Beratung bei der Defekterkennung und Qualitätskontrolle von Masken-Substraten teilgenommen. Das Kerntechnikteam besteht aus mehreren Doktoren und Branchenberatern, die jeweils für die Kernprozesse wie Polieren, Beschichten und Prüfen verantwortlich sind.

Meinungen der Investoren:

Der Projektverantwortliche von BOC International Investment sagte: " Zhongke Zhuoer verfügt über technologische Seltenheit und Vorteile in der Branchenkette im Bereich der Halbleitermaterialien. Das Team hat mehr als zehn Jahre Branchenerfahrung und entspricht in hohem Maße der nationalen Strategie der 'Autonomisierung der Hochtechnologiefertigung'. Wir werden durch die integrierte Dienstleistung von 'Investmentbank + Geschäftsbank' vollumfänglich unterstützen, dass es zum Branchenführer aufsteigt."

Der Projektverantwortliche von Sichuan Dingxiang sagte: "Seit unserer Investition in die Angel-Runde von Zhongke Zhuoer haben wir die Entwicklung des Unternehmens von Anfang an miterlebt. Es hat die Pilotproduktionslinie mit eigenen Ausrüstungen und Prozessen aufgebaut und betrieben, mehrere Schlüsselbranchenabschnitte abgedeckt und eine relativ hohe nationale Produktionsrate erreicht. Wir sind sehr zuversichtlich in Bezug auf den industriellen und kommerziellen Wert von Zhongke Zhuoer im Prozess der nationalen Produktion von mittelschweren und hochwertigen Blankmasken."