"Xunlin Technology" schafft es, die Probleme bei der Massenproduktion und Anwendung von Glas-Substraten zu lösen und schließt eine Vor-Serie-A-Finanzierung im Wert von mehreren Millionen Yuan ab | Exklusivbericht von 36Kr

Text | Zhang Bingbing

Redaktion | A Zhi

36Kr hat erfahren, dass Tianjin Xunlin Technology Co., Ltd. (im Folgenden als "Xunlin Technology" bezeichnet) kürzlich die Schließung einer Pre-A-Serie Finanzierung im Wert von mehreren Millionen Yuan bekannt gegeben hat. Diese Runde wurde von Qihang Investment der Zhongguancun Development Group als Hauptinvestor und von Beian Industrial Investment als Mitinvestor finanziert. Die Mittel werden hauptsächlich für die technologische Forschung und Entwicklung, die Markterweiterung sowie die Aufwertung der Industriekette verwendet.

"Xunlin Technology" wurde im September 2023 gegründet und ist ein Unternehmen aus dem Bereich der fortschrittlichen Fertigung, das sich auf die Oberflächenmetallisierung von Keramik- und Glaselektroniksubstraten konzentriert. Das Unternehmen ist bestrebt, mit seiner eigenen PVD-Technologie (physikalische Gasphasenabscheidung) einen neuen Technologieweg für die Kupferbeschichtung zu erschließen und die Kerntechnik- und Kostengesichtspunkte bei der Anwendung von Glassegmenten und Keramiksubstraten in Halbleiterfertigungsprozessen, Hochauflösungsanzeigemodulen und Leistungshalbleitern zu lösen.

Derzeit hat "Xunlin Technology" Produktionslinien in Tianjin und Qingdao. In beiden Städten wurden Elektroplattierungs- und Ätzlizenzen erteilt, und es wurde eine kontinuierliche Massenproduktionslinie für Substrate mit einer Fläche von 200.000 Quadratmetern errichtet. Die Kernprodukte wie Glassegmente und Keramiksubstrate haben bereits die Prozessvalidierung bei einigen Zielkunden bestanden und sind in die Produktion und die Phase der Massenbestellungen eingetreten.

PVD-Kupferbeschichtungstechnologie löst die Schwierigkeiten bei der Bindungsfestigkeit und der Kupferdicke

Früher war die Markterklärungskosten für Glassegmente als neues Material relativ hoch. Im September 2023 kündigte Intel erstmals die Einführung von Glassegmenten für die nächste Generation fortschrittlicher Verpackungen an und plante die Massenproduktion zwischen 2026 und 2030, was weite Beachtung in der Branche erhielt. Anschließend traten auch Konzerne wie Samsung und AMD ein. Angesichts der Verlangsamung des Moore'schen Gesetzes wurden Glassegmente zur neuen Hoffnung, die Grenzen zu überschreiten, und traten in den Blickpunkt der Öffentlichkeit.

Aufgrund ihrer Eigenschaften wie hoher Ebenheit, geringer Dicke, großer Größe, einstellbarer mechanischer Eigenschaften, guter Wärmeleitfähigkeit und niedriger Materialkosten sind Glassegmente ein äußerst vielversprechendes Trägermaterial. Derzeit stehen der Massenproduktion und Anwendung von Glassegmenten noch viele Herausforderungen entgegen, und die Oberflächenkupferbeschichtungstechnologie ist eine davon.

Glas ist ein nichtleitendes Material. Die Kupferbeschichtung kann Glassegmenten Leitfähigkeit verleihen und ist ein Schlüsselschritt bei der Förderung ihrer Anwendung in Bereichen wie der Elektronikverpackung. Allerdings ist die Oberfläche von Glas glatt und hat eine schlechte Haftung. Die Bindungsfestigkeit zwischen der Glasschicht und der Metallschicht ist schwach, was leicht dazu führt, dass die Metallschicht sich aufrollt oder sogar ablöst. Insbesondere bei gehärtetem oder ultradünnem Glas ist die Temperaturbeständigkeit bei der Verarbeitung relativ niedrig. Um die Ausschussquote und die Prozesskoordination zu gewährleisten, kann es normalerweise nur Verarbeitungstemperaturen unter 400 °C tolerieren. Innerhalb dieses Bereichs ist die Lösung des Problems der Bindungsfestigkeit besonders wichtig.

Zhen Zhen, CEO von "Xunlin Technology", erklärt, dass herkömmliche Klebeverfahren wie das Verkleben von Kupferfolie mit Nanoklebstoff oder das Verkleben von PI-Folie nach der Aufrauhung des Glases neue Grenzflächen einführen würden, wodurch die Eigenschaften von Glas bei der Chipanwendung, wie die Wärmeleitfähigkeit und die Fähigkeit zur Herstellung feiner Leiterbahnen, verloren gehen würden. Daher ist es erforderlich, eine direkte gegenseitige Diffusion von Glasoberfläche und Metallelementen zu erreichen und eine starke Bindung aus chemischer Sicht zu bilden.

Der PVD-Technologieweg besteht darin, in einer Vakuumumgebung Materialien zu verdampfen oder zu zerstäuben, damit sie auf der Substratoberfläche als dünne Schicht abgeschieden werden. "Xunlin Technology" nutzt die ionisierte PVD-Technologie, um die Diffusion von Metallelementen durch Oberflächenbeschuss, Ionenimplantation, Ionenätzen und mehrschichtige Verbundstrukturen zu erreichen. Dadurch kann die Kupferbeschichtung von großflächigen Glassegmenten bei niedrigen Temperaturen durchgeführt werden, und es wird eine Bindungsfestigkeit erreicht, die ein Mehrfaches der herkömmlichen gesputterten Titan-Kupfer-Saatschicht beträgt, was einen notwendigen Prozessspielraum für die nachfolgenden Verfahrensschritte bietet.

Darüber hinaus unterscheidet sich diese PVD-Technologie von der herkömmlichen Methode der Saatschicht plus Elektroplattierung zur Verdickung und löst ein weiteres Problem bei der Kupferbeschichtung von Glassegmenten - hohe Dicke und geringe Verwerfung. Die Glassegmente, die in Bereichen wie der Chipverpackung und der TFT-Anzeige verwendet werden, werden normalerweise im Submikrometer- oder Hundertnanometerbereich verpackt und beschichtet, und die meisten der zugehörigen Geräte werden importiert. "Xunlin Technology" nutzt selbst entwickelte Formeln, Prozesse und Geräte, um Glassegmentbeschichtungen mit einer Dicke von 1 μm bis 100 μm herzustellen und eine großflächige Verwerfungsfreiheit zu erreichen, was die Anwendung der Produkte in Bereichen wie der Hochauflösungsanzeige und der PCB-Ersetzung erweitert.

Produktproben von Xunlin Technology

"Dies ist unser Fachgebiet. Auch im Bereich der herkömmlichen Beschichtungen arbeiten wir in diesem Dickenbereich." Zhen Zhen erklärt, dass die Erfahrungen des Gründerteams im Bereich der Beschichtungen die Grundlage für ihre technologischen Durchbrüche bilden.

Zhen Zhen, CEO von "Xunlin Technology", hat ein Bachelorstudium in Materialwissenschaft an der University of Illinois in den Vereinigten Staaten und einen Doktorgrad in Materialwissenschaft von der Tsinghua-Universität absolviert. Im Jahr 2019 begann er seine Arbeit in einem nationalen Materialforschungszentrum und konzentrierte sich auf die Forschung zur Gasphasenabscheidung von Beschichtungen. "Unsere Forschung hat gezeigt, dass die Beschichtungssysteme aus Metall und Keramikverbundwerkstoffen ihre Leistung bei nahezu 1.000 Heiß-Kalt-Zyklen von nahezu 1.400 °C an der Oberfläche bis auf Raumtemperatur stabil halten können." Zhen Zhen sagt, "Die Beschichtungstechnologie ist eine plattformbasierte Technologie. Der Schlüssel besteht darin, die Bindungskraft zwischen Metall und Keramik sowie die Spannungsanpassung zu lösen, bevor eine großflächige, kupferdicke, verwerfungsfreie und vollständige Durchkontaktierung der Substrate erreicht werden kann." Inspiriert davon hat Zhen Zhen das Design, die Charakterisierung und das Testen der Kerntechnologie von "Xunlin Technology" abgeschlossen.

Zhen Hongbin, Vorsitzender des Vorstands von "Xunlin Technology", hat an der Tsinghua-Universität studiert. In den 1990er Jahren, als er bei Electrolux arbeitete, erkannte er die Wichtigkeit der Beschichtungstechnologie für die Kernkomponenten von Maschinen: Sowohl bei Werkzeugen, Formen als auch bei Bauteilen wurde die Beschichtungstechnologie in entwickelten Ländern bereits weit verbreitet eingesetzt, während es in China damals noch ein weites Feld der Forschung war. Getrieben von dieser Erkenntnis gründete Zhen Hongbin im Jahr 2010 das Beschichtungstechnologieunternehmen Scienwood. Seine Erfahrungen in der Beschichtungsindustrie haben die technologische Forschung und Entwicklung von "Xunlin Technology" bei der Geräteumrüstung und der Prozessanpassung unterstützt.

Im Jahr 2024 erhielt "Xunlin Technology" eine Angel-Serie Finanzierung im Wert von mehreren Millionen Yuan von Weihua Chuangxin, Guoqi Zhilian und Shuimu Huaqing. Das Unternehmen gewann auch den Preisträger der "Nationalen Wettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbewerbswettbe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